半导体高端封测废水怎么处理方法|半导体高端封测废水处理案例
半导体芯片中档测封匹配涉重废水处理方法——MVR直接配置零排建设项目
項目背景图案
半导体材料行业高性价比公测产品,投资规模150万m³/天,是首批半导体材料行业公测一起涉重废液零排产品。公测教学环节的镀镍、镀铜、引线的框架刷洗会产生含镍含铜废液,居民小区规定要求"无尾水外排",产水整个回收于产线。
水环境表现与难题
工业废水以含镍为中心(氨水浓度10–100毫克/升),伴轻微铜、锌,pH波动性大(2–12),还有光刻胶留下的少许有机会物。首测厂运动场地紧,特殊要求治理 设备征占小;零排象征着浓水难以土石方过多,必定原生减压蒸馏晶体开环。
清工院艺线路
布局走"分质采集 → 预清理除杂 → 化学上沉垫除镍 → 吸附 → UF+二级RO → MVR直接配置减压蒸馏 → 空气冷却水造纸废水处理":
含镍线先调pH到10–11,污泥脱水氢被硫化钠转为Ni(OH)₂沉淀物中,多加塑炼钠程度气体吸附残余物镍(塑炼镍Ksp比氢被硫化镍更小,能让镍压到0.1毫克/升下);
积淀喷水经多物质进行活性炭过滤+保安队长进行活性炭过滤后进UF,再进第一RO,产水可以回产线除污;
RO浓水(含盐+残留血本属)进MVR直接再循环法挥发器,直接再循环法能扛高含盐积垢,挥发器有带线下洗涤,后易堵;
MVR气液分离器水回归到循环水盆,汽化残液委外填埋或做为危险废物治理,一个园区无液态氨外排。
重点机械设备优缺点说明书怎么写
MVR强制性循坏相信平民降膜蒸馏掉,循坏空气流速高、热传递面不方便结镍盐/碳酸盐垢,符合首测这一"用水量不多但水体质量杂"的不一样;一起化撬装制作征占比普通蒸馏掉塘+多效蒸馏掉计划方案小60%超过;臭味侧智能化怪物滤池,把调控池和废水间的臭味提取后光降解成CO₂和水,规避首测厂紧临商务办公场所的其它异常的味道投拆。
治理郊果与成效
水流镍≤0.1毫克/升、铜≤0.1毫克/升,远高于《塑胶电镀被污染物质减排口规格》表三;任何150立方米/天产水使用于公测产线洗涤,使用等量清爽水;危险废物(多效蒸发残液+飞灰)量比传统意义"滤渣+减排口"形式 减约70%。对富士康侧,公测新项目健康分级管理卡点打架通;