上海市某半导体材料治理器制做厂，晶圆生产制造操作过程中产生了含硅、氟的特种工业废渣，开发治理规模较1200吨/日。工业废渣物质复杂性，包含有納米级硅粉末及氢氧化钠，一般治理方式方法易于考核标准。 污水组成成分及主要来源 最主要的感染物 ：胶体溶液硅（100-500nm颗粒直径）、氟阴阳离子（200-300mg/L）、异丙醇 来源地工步 ：晶圆刻蚀废气处理工艺（45%）、CMP化学工业机械的设备制造拋光废气处理工艺（40%）、的设备清洗水（15%） 除理的鑫霖环保步骤 科学创新通过"化学式发展+特类膜分離"高技术自驾路线： 钙盐发展 ：污泥脱水氯化钙洗去氟阴离子（添加CaF2沉积） 斜板沉淀池反應 ：pp水解酸化池剂保证 橡胶胶体部分硅脱稳 管式微滤 ：0.1μm钻孔大小膜公款私存微细粉末 反构建系统软件 ：脱盐率>98%，再利用率75% 蒸发掉沉淀 ：浓水段达成氟化物零摆放 最终能够成效 氟化物密度：<8mg/L（超过国内1阶段标准规定10mg/L） 硅含锌量：<5mg/L 水资原工业废水处理率：70%使用于圆形冷却塔塔保湿 危险废物回收利用：蒸发掉碎渣量较经典技艺提高60%