某半导体技术手工制造厂家因晶圆的洗涤工作制造含氨污水,排水量200吨/天。污池中除化学需氧量外还包含的氟化物和氢化物发生器巨资属,工作難度大。各地减排标准规定要化学需氧量<5mg/L,氟化物<3mg/L。
焦化废水物质及从何而来
晶圆洗掉废水处理方法(重要源头):含挥发酚200-300mg/L,氟化物50-80mg/L
刻蚀工艺程序废水处理工艺:含轻微铜、镍等巨资属,pH值震荡大
CMP研磨抛光废污水:含硅颗粒肥料及化学需氧量
外理新工艺操作流程
按照"化学物质悠长岁月中+膜分離+折点氯化"组成工艺流程:
预补救
:加药CaCl2除氟,保持pH在7.5-8.
超滤膜程序
:避开0.01μm及以上科粒物
反渗透膜法萃取
:将挥发酚浓缩提炼至1000mg/L上文
折点氯化
:正确调控氯加药系统量,将高锰酸盐指数转成为N2
阳离子互转
:保证天价属符合标准
终于效率
氟化物稳固<3mg/L,氟化物<1mg/L
高价属分子量不超过判断限
水中水回用率达75%
活性污泥行成量抑制40%