该厂为84英寸晶圆生产方式线相互配套的超蒸馏水机系统，一整天产生含硅废污水150吨。废污池里虽无高价属，但硅占比高易积垢，且电阻器率需提升18MΩ·cm就要造纸废水操作。本身操作工艺设计不可拥有新颁行的《网上化学工业水破坏物产生规定》（GB39731-2020）很产生规定值。 废液基本成分优点 注意弄脏物 ：固体硅（200-300mg/L）、科粒硅（粒度分布0.1-1μm） 特色耍求 ：TOC<10μg/L，硼的含量<5μg/L 环境质量性能指标 ：低水的电导率（<50μS/cm）但硅类化合物形式多样化 整理加工方案 科学创新分为"梯级膜破乳+电去铁离子"组合式工艺技术： 微滤预处置 ：1μm陶瓷制品膜手机拦截大粒状硅，通量保护80LMH 化合物传递硅橡胶 ：D201大孔环氧树脂决定性降解硅酸分子式 2级RO软件 ：首先段回收分类处理率60%，第五段适用高脱硼膜电气元件 EDI电去亚铁离子 ：直流电压强度2A/m²，不断删去的残留物亚铁离子 紫外线臭氧消毒 ：254nm紫外光线标准容量40mJ/cm² 技木突出 开发管理专业化阻硅剂（可挥发胺类黏结物），抑制膜影响周期性3倍 EDI组件科学创新流道设计构思，硅彻底清除率增加至99.8% 网络硅进行检测仪（在线测量区域0.1-500μg/L）进行脱贫掌控 使用成果 经3.方测量： 总硅从280mg/L降到0.05mg/L 硼浓度从8μg/L调至0.3μg/L 机系统收废率从原40%优化至68% 膜换成周期性增加至5年，年启动总成本降低了35%