好项目题材
伤害某半导体芯片厂工作时候中而且呈现高硅废液(SiO₂ 500-800mg/L)和含氟废液(F⁻ 200-300mg/L)。两者废液交织后常组成氟硅酸电解质溶液,以往化学水解法不好维持不合格。该项目要同时祛除硅和氟(排放标准的要求规范标准规范:SiO₂≤30mg/L,F⁻≤10mg/L)。
废水处理工艺有效成分及因素
关键组成成分
:硅酸氢钠(NaHSiO₃)、氟化铵(NH₄F)、异丙醇
原因
:晶圆刻蚀工业废污水、CMP研磨主设备工业废污水、主设备情况呢水
处理艺过程
推进石雕文化沉淀一阶段
:
两极发应池
:
首级污泥脱水Ca(OH)₂出现CaF₂和CaSiO₃滤渣;
二是级污泥脱水PAC(缩聚氯化铝)强化装备斜管沉淀池。
固液脱离阶段中
:
超滤膜装置
:进行0.02μm直径膜元件挪用电解质溶液硅和微细乳浊液物。
强度脱氟的阶段
:
化学活化脱色铝粘附塔
:残余物氟铝离子吸附性取除。
结果的效果
冒水SiO₂≤25mg/L,F⁻≤8mg/L,远更为重要部委标淮。
超滤膜装置通量平稳在15LMH,电学刷洗期提高至60天。
工业废水经压滤后含水量率<65%,可按大部分固体废物防范。