某半导体技术厂在生孩子操作过程中动用盐酸系显影液液，引发高有机的废气浓度含NOx废水外理方法，日外理量50吨。废水外理方法中含NO2-可高达2000mg/L，且具有氢化物发生器有机的光刻胶部分，外理高难度相对较大。 2. 废液有效成分及来原 成像加工过程废气（关键被大气污染） 晶圆难以清理废液 有机废气物洗衣机清洗塔室外排水 3. 治理艺步奏 选取"中高级硫化+多级动物办理"企业创新技艺： 臭氧杀菌硫化 ：能够 臭氧杀菌再次所产生器所产生O3，将难光降解生物碳物转化为小原子核材质，而且将NO2-氧化反应为NO3-。 微生物膜反馈器（MBR） ： 1级：缺养场景下加药甲醇最为碳源，加速反反硝化作用的反应 第二点级：好氧生物工程膜进的一步吸附生物碳物 电物理化学深入处置 ：应用钛基金属涂层电极材料，在电解抛光能力彻彻底底分解成残存感染物。 4. 终结特效 NOx总氮高于8mg/L以內 COD稳定的在30mg/L元 废渣回收利用率达60% 模式运转耗电率掌握在3.5kWh/吨水，较传统与现代技艺节水20%。