半导体芯片加工废水处理案例|半导体芯片加工废水处理方法
的项目环境
该产业发展园集中了十余家半导体器件有关系工业中小型中小型企业,方案日进行净化正确处理作用5000吨,需求进行净化正确处理出自于不一样的工业中小型中小型企业的混废液正确处理工艺制作。因各工业中小型中小型企业的生产工艺制作相互影响大,废液正确处理工艺制作化学成分有困难多种多样,进行净化正确处理困难较高。
电镀废水组成成分及由来
废气基本收录3个类:高溶度可挥发肥料废气(光刻胶、成像液等)、含氟废气(刻蚀环节)和腐蚀性废气(除垢环节)。个性化材质收录异丙醇、四甲基氢氧化物铵等难溶解可挥发肥料物,各类氟化物、氟化物等有机物污染源物。废气COD起伏较大大(500-3000mg/L),氟化物溶度100-500mg/L,氟化物50-150mg/L。
治疗施工工艺施工工艺
进行"各类搜集+分质正确工作+集合长度正确工作"的多元化模式切换:
厂家内部组织的分类预补救:含氟废渣专门外理采集而来并预补救
工业园区污水管等归类运输系统性
綜合调试池均匀水体质量
多级混泥土沉淀出的出掉悬浮按钮物和电解质溶液
高效能菌物生理管式反应器(HBR)正确处理无机危害物
三氧催化阳极氧化阳极氧化挥发难分解掉设计物
反融合设备确定脱盐进行处理
红外光谱线进行消毒确定出液健康安全
特别设施了迅雷在线检测器整体和自動投加整体,对待水质标准起伏较大。
终究郊果
装置加载五年期来,治理 特效稳定的安全。出液COD<30mg/L,氟化物<3mg/L,氧化还原电位<5mg/L,总氮<15mg/L,高于地下水监测Ⅳ类标准规定,有些循环于产业居民小区绿化工程及冷凝塔补湿,循环率高达30%。每月限制鲜美水施用约10万吨,为产业居民小区公司可以煤气费百余万美元。