建设项目背景图
某大一些的半导打造商家属于长三边形区县,主要是分娩晶圆和办理器。在分娩进程中,晶圆水刀切割和磨光周期引发大批磨细液废水办理工艺,日访问量释股票放量约50吨。因为废水办理工艺中有高质量浓度飘浮物、金属材料铝离子及有机物增添剂,会直接释放会对氛围引起频发水污染,商家紧缺构建靠谱办理公共设施。
废水处理工艺含量及渠道
磨研液废液大部分来历于晶圆生产加工中的化学上机戒抛光剂(CMP)生产工序,大部分水工业废气比如:
浮悬粉末物
:二被硫化硅、被硫化铝等研磨抛光颗料,比表面积在0.1-1μm,浓硫酸浓度更是高达2000mg/L。
金屬铝离子
:铜、铁、锌等,来于打磨抛光垫刹车盘磨损及晶圆漆层重金属层,铜化合物氧浓度约50mg/L。
充分加剂
:包涵表面能活性酶类剂、阻垢剂等,COD值在800-1200mg/L。
强酸强碱有害物质
:pH值浮动大,常在2-11互相。
加工的工艺具体步骤
而对废水补救性质,适用“预补救+生物化学+程度补救”组和鑫霖环保:
调试池
:多样化水硬度储水量,加入耐酸碱调高pH至弱酸性。
混泥土奠定
:污泥脱水PAC(配位聚铝)和PAM(PP酰胺),剔除自动隐藏物和溶液,沉降后SS剔除率>90%。
催化阳极氧化阳极氧化
:选取Fenton采血管(H₂O₂+Fe²⁺)吸附有机物加入剂,COD彻底清除率达60%。
生物体除理
:MBR膜生物技术化学流化床反应器进1步溶解累计可挥发物,COD调至100mg/L如下。
阴离子更换
:专用工具硅橡胶过滤铜阴离子,有水出铜份量<0.5mg/L。
砂滤+渗透性炭吸附
:为了保证冒水清清的,到达《将污水整合排出条件》(GB8978-1996)4级条件。
后面结果
软件系统行驶不稳定性后:
SS<10mg/L,COD<60mg/L,铜铝离子<0.3mg/L。
造纸废水处理方法处理率达40%,已满标准排污,年极大减少废水处理方法排污1.10万吨。
进行处理成本预算约15元/吨,远大于餐饮行业峰值。